• 微塵清洗劑

微塵清洗劑

型號 : ACHM04-H1

硬化油墨清除劑ACHM04-H1應用於晶圓PBO PI清除測試

  1. 晶圓PI去除以前:

    01.jpg

    02.jpg

    03.jpg

    上圖:x50倍 下圖 x800倍

    04.jpg

    05.jpg

  2. 將硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱到130℃,置入wafer 浸泡10分鐘。
    再以清水清洗乾淨。發現表面的PI已經開始膨潤剝落。

    06.jpg

    07.jpg

    08.jpg

    09.jpg

  3. 將硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱到130℃,置入wafer 浸泡30分鐘。再以清水清洗乾淨。 發現表面的PI已經去除。
    可以清楚看見內部的微結構。

    10.jpg

    11.jpg

    上圖:x50倍

  4. 以顯微鏡放大至800倍。發現微結構內部有裂痕,需請客戶自行判斷是否是浸泡藥劑所造成。

    12.jpg

    13.jpg

    14.jpg

    15.jpg

    16.jpg

    17.jpg


硬化油墨清除劑ACHM04-H1應用於晶圓PBO PI清除測試

  1. 晶圓PI去除以前:

    18.jpg

    19.jpg

    20.jpg

    上圖:x50倍 下圖 x800倍

    21.jpg

    22.jpg

  2. 將硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱到130℃,置入wafer 浸泡10分鐘。
    再以清水清洗乾淨。發現表面的PI已經開始膨潤剝落。

    23.jpg

    24.jpg

    25.jpg

    26.jpg

  3. 將硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱到130℃,置入wafer 浸泡30分鐘。再以清水清洗乾淨。 發現表面的PI已經去除。
    可以清楚看見內部的微結構。

    27.jpg

    28.jpg

    上圖:x50倍