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3D封裝技術是晶片封裝的發展方向,但是即使封裝前經過測試還是會有不良在封裝後產生,如果可以將封裝好的晶片再分離成單晶片,就能將功能OK的Die再重新封裝利用,減少報廢節省成本,下圖為一顆8層封裝的DRAM,它是由8個單層Die粘貼在一起,封裝後測試中發現有一層或者幾層Die不良,需要把它無損分開,回收良品Die,由於粘貼層非常緊密一般的藥劑難以進入結合面導致分離非常困難。
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將晶片放入燒杯中,再加入ACHM04-H1藥劑加熱到160-170度,此時藥劑開始沸騰,保持溫度1小時後發現晶片中間結合位置縫隙已經開始輕微擴大
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繼續加熱4小時左右發現晶片已經開始分離成多片,此時可暫停加熱看一下是否已經完全分離
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繼續加熱到5小時左右發現晶片8片已經完全分離,此時停止加熱,待藥劑冷卻到室溫再取出用純水沖洗掉表面藥劑,晾乾。如改用IPA沖洗可減少水痕的產生
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結論:使用ACHM04-H1可以將3D封裝的多層晶片分離並且不會傷害晶片