工件描述：客戶目前使用異丙醇(IPA)等酒精溶劑擦拭電子紙，移除油墨以露出PET膜上的ITO，以利後續銜接電極。但是IPA清除電子油墨的效率不佳，使得客戶需要反覆擦拭，往往造成PET膜上的ITO刮傷，致使良率下降。下圖為撕下電子紙的保護膜，露出綠色油墨。

下圖為使用IPA擦拭電子紙的情形。將IPA滴在電子紙露出的綠色油墨上。下圖左，發現油墨上有一層OCA膠，IPA可以很快(約1~2分鐘)分解此OCA膠。下圖右，但是將IPA持續點在綠色油墨上5分鐘，以棉紙擦拭，發現表面的OCA膠雖然很容易移除，但是綠色電子油墨卻不容易擦拭去除，需要稍微用力反覆幾次擦拭才能移除。此動作容易造成PET膜上的ITO刮傷。

使用硬化油墨清除劑ACHM04-H1，點在綠色油墨上5分鐘(下圖左)。約3~5分鐘後，綠色油墨已經變色溶解(下圖中)。硬化油墨清除劑ACHM04-H1浸泡5分後，以棉紙擦拭，發現輕輕擦拭，即可移除綠色電子油墨。(下圖右)

重複測試。使用硬化油墨清除劑ACHM04-H1，點在白色油墨上5分鐘(下圖左)。約3~5分鐘後，白色油墨已經變色溶解(下圖中)。硬化油墨清除劑ACHM04-H1浸泡5分後，以棉紙擦拭，發現輕輕擦拭，即可移除白色電子油墨。(下圖右)

結論。

5.1硬化油墨清除劑ACHM04-H1，能有效移除客戶此款電子油墨。
5.2硬化油墨清除劑ACHM04-H1，不會傷害ITO及PET。在不用力反覆擦拭去除電子油墨的情形下，能最大限度保留ITO的完整性。
5.3硬化油墨清除劑ACHM04-H1，有凝膠劑型ACHM04-HG。但是經過實際測試，使用凝膠劑型對電子油墨溶解力比液態劑型還要慢很多，浸泡5分鐘仍然無發移除。建議搭配IPA先移除表面OCA膠，再以凝膠劑型ACHM04-HG處理油墨。

晶圓SU8光阻劑去除以前：

將硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱到130℃，置入wafer 浸泡1分鐘。
發現表面的SU8光阻劑已經開始膨潤剝落。

以清水清洗乾淨。發現表面的SU8光阻劑已經去除。而且內部的微結構也不會受傷。

但是仍有少量的SU8殘留，可能需要透過延長浸泡時間、或透過超音波震盪清洗，協助去除這些少量的殘膠及particle。

Wafer 上有電漿烤焦AZ4620光阻劑，本試驗目的要去除AZ4620光阻劑，但是不傷害wafer上的AlGaAs。下圖照片為Wafer光阻劑剝除前。

將此wafer置於40℃硬化油墨清除劑ACHM04-H1中，浸泡5分鐘，發現wafer上方的烤焦AZ4620光阻劑，已經大部分溶解。只剩下少量殘留(紅箭頭處) 光阻，置於藥劑中擾動沖洗後，也都能脫落。
若能搭配超音波清洗，相信清潔效果會更好。

將此wafer置於40℃硬化油墨清除劑ACHM04-H1中，浸泡10分鐘後，取出沖水。

發現幾乎所有的光阻劑都已脫落。且 wafer也沒有受傷狀況。

去除光阻後的wafer，在強光燈照射下，可以發現有一些瑕疵(紅箭頭處)。
對照為清洗前照片，發現該瑕疵未清洗前已經存在。研判不是殘留的光阻劑。

結論與討論：

6.1 從實驗結果看來，硬化油墨清除劑ACHM04-H1能有效清潔經電漿烤焦的AZ4620光阻劑。
6.2 由於剝除後的AZ4620光阻劑，會懸浮於藥劑中；因此從藥劑中取出wafer時，會回沾在wafer表面，導致難以判定是光阻劑未完全剝落或是因逆污染導致表面殘留？建議清洗時，藥劑應有3槽。主要的光阻劑在第1槽完全剝落，殘餘的光阻劑在第2槽清洗乾淨。第3槽作為Guarantee。
6.3 可與設備商研討搭配超音波或將藥劑加壓後噴洗、循環過濾；是否會增加清洗的效能與潔淨度？

振盪器wafer SU8光阻劑去除以前，SU8光阻劑經過120℃預烤12分鐘。

將此wafer置於170+-10℃加熱盤上烘烤60分鐘。SU8固烤後顏色變得較透明。(下圖右)

將硬化油墨清除劑ACHM04-A加熱到120℃，置入固烤後的wafer，在藥劑中浸泡5小時。再以清水清洗乾淨。發現晶圓表面的SU8完全沒有脫落或膨潤軟化的跡象。

將另一片epoxy光阻劑wafer也以170+-10℃加熱盤烘烤60分鐘。將此固烤後的wafer置入120℃硬化油墨清除劑ACHM04-A中，浸泡5小時。再以清水清洗乾淨。

發現晶圓表面的epoxy光阻劑有稍微脹大，顏色變白。但是完全沒有脫落的跡象。確認硬化油墨清除劑ACHM04-A，並不適合應用於去除振盪器wafer 表面經固烤的SU8及epoxy光阻劑。

取另一片SU8光阻劑wafer，以170+-10℃加熱盤烘烤60分鐘。將此固烤後的wafer置入120℃硬化油墨清除劑ACHM04-H2中，浸泡48小時。再以清水清洗乾淨。加熱硬化油墨清除劑ACHM04-H2的玻璃器皿上放置裝入清水的燒杯，這樣ACHM04-H2的藥劑蒸氣即可冷凝滴回玻璃器皿中，減少藥劑逸散(參考下圖右)。

發現以硬化油墨清除劑ACHM04-H2加熱120℃浸泡5小時後， wafer上的SU8光阻劑已明顯膨潤脹大。以PE塑膠管輕輕碰觸，有些SU8樹酯圖形隨即脫落。

但是即使以硬化油墨清除劑ACHM04-H2加熱浸泡24小時後， wafer上的SU8光阻劑雖然已有90%以上脫落，但是仍然有少量圖形尚未脫落。以硬化油墨清除劑ACHM04-H2加熱120℃浸泡48小時後，表面的SU8光阻劑幾乎已經完全脫落，但是仍然有點狀殘留。

另取一片SU8光阻劑wafer，以硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱120℃浸泡。

發現以硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱120℃浸泡5小時後， wafer上的SU8光阻劑已明顯膨潤脹大。以PE塑膠管輕輕碰觸，幾乎所有的SU8樹酯圖形隨即脫落。發現硬化油墨清除劑ACHM04-H1是更好的硬化SU8剝除劑。

將另一片epoxy光阻劑wafer也以硬化油墨清除劑ACHM04-H1加熱120℃浸泡，發現浸泡2小時後，epoxy光阻劑已經明顯脫落。

結論與建議製程：

12.1硬化油墨清除劑ACHM04-H1是較好的硬化SU8及硬化EPOXY光阻劑剝除劑。
12.2建議製程如下：
12.2.1. 第1槽：預泡槽。具恆溫控制的不鏽鋼槽體，內部注滿加熱到120℃的硬化油墨清除劑ACHM04-H1，wafer置入其中的網架浸泡24小時。槽體上方附蓋體及冷凝抽氣裝置。打開蓋體時，抽氣裝置能抽出蒸氣，避免人員吸入藥劑蒸氣。
12.2.2. 第2槽：噴除槽。具高壓沖洗及恆溫控制的密閉不鏽鋼槽體，將第1槽取出的wafer在此槽體中以加熱到120℃的ACHM04-H1高壓噴洗。槽體上方附蓋體及冷凝抽氣裝置。噴洗幫浦為不鏽鋼製附鐵氟龍seal。
12.2.３. 第3槽：清洗槽。具高壓沖洗及恆溫控制的密閉不鏽鋼槽體，將第2槽取出的wafer在此槽體中以清水高壓噴洗。槽體上方附蓋體及冷凝，抽氣裝置。噴洗幫浦為不鏽鋼製附鐵氟龍seal。

工件描述：客戶反映此款螺絲上的耐落膠無法使用既有的藥劑ACHM04-E剝除。耐落膠剝除前，附著於螺絲外部螺紋處：

以不同藥劑進行剝除測試。發現使用硬化油墨清除劑ACHM04-H1，及微塵清洗劑PTC13，在加熱到80℃，浸泡60分鐘後；藍色耐落膠有脹大軟爛片狀脫落現象。下方左圖為浸泡硬化油墨清除劑ACHM04-H1。下方右圖為浸泡微塵清洗劑PTC13。

使用硬化油墨清除劑ACHM04-H1，及微塵清洗劑PTC13，在加熱到80℃，浸泡120分鐘後。

取出，裝盛餘網孔容器中。以清水清洗，發現2款藥劑處理過的螺絲皆能將殘留的耐落膠清洗乾淨。

結論。

5.1硬化油墨清除劑ACHM04-H1，及微塵清洗劑PTC13，都能剝除客戶此款螺絲上的耐落膠。
5.2微塵清洗劑PTC13是鹼性的。不適用於鋁合金或鍍鋅螺絲。對於易生鏽的螺絲，浸泡過PTC13後須注意要清洗乾淨，並在最後一次潤洗時，於純水中添加5%水性防鏽劑RP01，可避免生鏽。
5.3硬化油墨清除劑ACHM04-H1是中性的，適合各種材質的螺絲。ACHM04-H1完全與水互溶，因此使用完畢後可以以清水輕易清洗去除。但是須注意ACHM04-H1在使用中不可摻到水，否則會迅速失效。另外，使用後若以清水清洗，對於易生鏽的螺絲，因為接觸到水，仍然需要注意防鏽。
5.4大量除膠建議流程：
5.4.1 預泡：將螺絲置入含有ACHM04-H1藥劑的預泡槽中浸泡。(藥劑加熱70~80℃下，浸泡2小時。藥劑在室溫下浸泡24小時。)
5.4.2 藥劑噴洗：將預泡過的螺絲置入含有ACHM04-H1藥劑的噴洗槽中噴洗去除。(此槽的目的是要脫膠，藥劑加熱70~80℃，配備藥劑高壓噴洗裝置。預泡過的螺絲能在60秒內噴洗除膠完成。此槽可連接過濾器，將脫膠濾除以增加藥劑壽命)
5.4.3 清潔保證：含有ACHM04-H1藥劑的第三槽，目的是Guarantee。確保若因大量清洗後，過高濃度的脫膠殘留在螺絲上，而帶入第三槽，可在此槽中被洗除。(此槽設定一樣是藥劑加熱70~80℃，配備藥劑高壓噴洗裝置。)
5.4.4 清水洗淨：以2~5次清水，將螺絲上殘留的藥劑噴洗乾淨。若螺絲本身極易生鏽，最後一道清水噴洗或浸洗，可於水中添加5%水性防鏽劑RP01，可避免生鏽。
5.4.5 甩乾：清水洗淨後的螺絲以離心機快速甩乾，可減少烘乾的時間。此步驟亦可使用浸泡IPA替代。
5.4.6 烘乾：螺絲以離心機甩乾後，以烘箱烘乾。若螺絲浸泡過防鏽劑RP01，則不須烘乾。
5.4.7 上述1.~6.步驟藥劑若使用PTC13，一樣適用。唯PTC13加熱時，建議預先添加15%純水。且PTC13不適合室溫預泡。宜加熱預泡。

工件描述：客戶反映此款螺絲上的耐落膠無法使用既有的藥劑ACHM04-A剝除。
耐落膠剝除前，附著於螺絲外部螺紋處：

以不同藥劑進行剝除測試。發現使用硬化油墨清除劑ACHM04-H1，及微塵清洗劑PTC13，在加熱到80℃，浸泡60分鐘後；藍色耐落膠有脹大軟爛片狀脫落現象。下方左圖為浸泡硬化油墨清除劑ACHM04-H1。下方右圖為浸泡微塵清洗劑PTC13。

使用硬化油墨清除劑ACHM04-H1，及微塵清洗劑PTC13，在加熱到80℃，浸泡120分鐘後。

取出，裝盛餘網孔容器中。以清水清洗，發現2款藥劑處理過的螺絲皆能將殘留的耐落膠清洗乾淨。

結論。

5.1硬化油墨清除劑ACHM04-H1，及微塵清洗劑PTC13，都能剝除客戶此款螺絲上的耐落膠。
5.2微塵清洗劑PTC13是鹼性的。不適用於鋁合金或鍍鋅螺絲。對於易生鏽的螺絲，浸泡過PTC13後須注意要清洗乾淨，並在最後一次潤洗時，於純水中添加5%水性防鏽劑RP01，可避免生鏽。
5.3硬化油墨清除劑ACHM04-H1是中性的，適合各種材質的螺絲。ACHM04-H1完全與水互溶，因此使用完畢後可以以清水輕易清洗去除。但是須注意ACHM04-H1在使用中不可摻到水，否則會迅速失效。另外，使用後若以清水清洗，對於易生鏽的螺絲，因為接觸到水，仍然需要注意防鏽。
5.4大量除膠建議流程：
5.4.1 預泡：將螺絲置入含有ACHM04-H1藥劑的預泡槽中浸泡。(藥劑加熱70~80℃下，浸泡2小時。藥劑在室溫下浸泡24小時。)
5.4.2 藥劑噴洗：將預泡過的螺絲置入含有ACHM04-H1藥劑的噴洗槽中噴洗去除。(此槽的目的是要脫膠，藥劑加熱70~80℃，配備藥劑高壓噴洗裝置。預泡過的螺絲能在60秒內噴洗除膠完成。此槽可連接過濾器，將脫膠濾除以增加藥劑壽命)
5.4.3 清潔保證：含有ACHM04-H1藥劑的第三槽，目的是Guarantee。確保若因大量清洗後，過高濃度的脫膠殘留在螺絲上，而帶入第三槽，可在此槽中被洗除。(此槽設定一樣是藥劑加熱70~80℃，配備藥劑高壓噴洗裝置。)
5.4.4 清水洗淨：以2~5次清水，將螺絲上殘留的藥劑噴洗乾淨。若螺絲本身極易生鏽，最後一道清水噴洗或浸洗，可於水中添加5%水性防鏽劑RP01，可避免生鏽。
5.4.5 甩乾：清水洗淨後的螺絲以離心機快速甩乾，可減少烘乾的時間。此步驟亦可使用浸泡IPA替代。
5.4.6 烘乾：螺絲以離心機甩乾後，以烘箱烘乾。若螺絲浸泡過防鏽劑RP01，則不須烘乾。
5.4.7 上述1.~6.步驟藥劑若使用PTC13，一樣適用。唯PTC13加熱時，建議預先添加15%純水。且PTC13不適合室溫預泡。宜加熱預泡。

工件描述：不鏽鋼630的光纖探針上方塗佈一圈紅色環氧樹酯硬化油墨。此測試目的要剝除紅色環氧樹酯硬化油墨，但是不能傷害不鏽鋼630光纖探針。
油墨剝除前，紅色環氧樹酯硬化油墨位於光纖探針的凹環處：

以不同藥劑進行剝除測試。發現使用硬化油墨清除劑ACHM04-A，在加熱到90℃，浸泡20分鐘後；紅色環氧樹酯硬化油墨有片狀脫落現象。應是此紅色環氧樹酯硬化油墨已經爛掉的現象。

以清水沖洗，發現可以輕易沖掉。但是在顯微鏡下觀察，因紅色環氧樹酯硬化油墨已經爛掉，所以無法完全剝除乾淨，還留下一些小碎片在光纖探針的凹環處。

改以硬化油墨清除劑ACHM04-H1清洗， ACHM04-H1不會讓紅色環氧樹酯硬化油墨破裂，只讓它脹大脫落。在加熱到90℃，浸泡20分鐘後；發現紅色環氧樹酯硬化油墨已經變色、脹大。

取出，以鑷子輕輕一夾，即整圈剝落。

以清水沖洗乾淨後，在顯微鏡下觀察。發現紅色環氧樹酯硬化油墨整圈剝落得很乾淨，沒有殘留。

結論，硬化油墨清除劑ACHM04-H1不會讓紅色環氧樹酯硬化油墨破裂，只讓它脹大脫落，應是適用於此案例較佳的藥劑。