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清洗前 ESC Parts上有白色薄膜狀附著物。
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以不同的清洗藥劑,點在白色薄膜狀附著物上,1分鐘後以無塵布擦拭去除,再以另一新的無塵布沾取IPA擦拭乾淨。觀察藥劑點過的位置,白色薄膜狀附著物是否有明顯被去除的痕跡,以找出適當有效的清潔藥劑。發現AHLR03能有效清除ESC Parts上白色薄膜狀附著物。
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以無塵布沾取AHLR03擦拭ESC Parts,可以發現無塵布很快變黃、變髒。ESC Parts上白色薄膜狀附著物很輕易被擦起。
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擦拭後再以另一新的無塵布沾取IPA擦拭乾淨。IPA很快揮發乾燥後,可以清楚看見ESC Parts上白色薄膜狀附著物明顯變淡。
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放大來看。
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比較。下方照片,左邊為擦拭前,右邊為擦拭後。