AHLR03-D2應用於陶瓷(可能是Sapphire氧化鋁)鍍鋁晶圓表面塗蠟清除測試報告
清洗前樣品。陶瓷鍍鋁晶圓表面經塗蠟,客戶希望找到水溶性清洗液將蠟去除而不傷害鋁金屬層。
以鋁合金專用水性剝漆劑AHLR03-D2,將藥劑加熱到100~110℃後,置入晶圓浸泡。
10分鐘後取出沖水,發現已全部洗淨。
比較,下圖左邊為清洗前,下圖右邊為清洗後。