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清洗前樣品。晶片(Good Die)相互堆疊,由於晶片薄又脆,以外力強制分離,容易導致破裂,毀損晶片。
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將晶片取下來,分別以鋁合金專用水性剝漆劑AHLR03-D2plus,等6種藥劑在室溫下浸泡。
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發現室溫下浸泡達24小時,有些藥劑浸泡的Die裸露的背膠以膨潤溶解。但是因為許多的Die相互堆疊,堆疊處藥劑不易滲入,Die仍然沾黏,晶片無法主動分離。
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將所有藥劑加熱到110~120℃。
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發現將藥劑AHLR03-D2plus加熱到110~120℃後,約1~2小時。所有沾黏的die已自動分開。
因背膠膨潤脹大,晶片自動分開。
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將晶片取出,發現每一個晶片已經分離。Die背後的殘膠以清水沖洗即可完全洗淨。