清洗前：石英表面附著氣相沉積後結構緊密的氮化鎵。以高壓水槍清洗無法噴除。以紅色菜瓜布無法刷除。

以FGTC04在60℃下浸泡清洗：需隔水加熱。FGTC04不要裝在不鏽鋼或玻璃容器中，因為游離的金屬離子會加速FGTC04的劣化。因此建議裝在塑膠容器中，隔水加熱。

清洗後：在加熱到60℃的FGTC04中，浸泡30分鐘後，氮化鎵從石英表面鬆脫。此時以高壓水刀噴除，或以白色/紅色菜瓜布可以輕鬆刷除。