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蝕刻劑

型號 : ITOC01

氧化銦錫(ITO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)、銀合金(Ag)、鉬(Mo)鍍層蝕刻測試報告

  1. 各種金屬/氧化物鍍層清洗前照片。

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  2. 將氧化銦錫(ITO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)鍍層玻璃以蝕刻劑OS01加熱至50℃,浸泡10分鐘。

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    發現ITO鍍層玻璃沒有顯著反應。但是IGZO玻璃上的氧化銦鎵鋅鍍層已顯著去除。

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    取出,以水沖洗乾淨。(同時間測試了銀合金鍍層玻璃,蝕刻劑OS01對銀合金鍍層也沒有反應)

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    清洗後。

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  3. 再以蝕刻劑ITOC01加熱至50℃,測試對氧化銦錫(ITO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)、銀合金(Ag)鍍層玻璃的去除效果。

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    發現只要浸泡30秒,即可迅速去除氧化銦鎵鋅(IGZO)鍍層。

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    蝕刻劑ITOC01加熱至50℃,去除氧化銦錫(ITO)鍍層一樣快速有效。
    (但是對銀合金(Ag)鍍層則無顯著效果)

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  4. 以蝕刻劑OS02進行銀合金(Ag)鍍層玻璃的蝕刻。發現在室溫下,銀合金(Ag)鍍層玻璃一浸泡到蝕刻劑OS02,即迅速反應。並在3分鐘內完全侵蝕乾淨。

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    以蝕刻劑OS02去除鉬(Mo)鍍層玻璃,一樣有效。

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