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各種金屬/氧化物鍍層清洗前照片。
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將氧化銦錫(ITO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)鍍層玻璃以蝕刻劑OS01加熱至50℃,浸泡10分鐘。
發現ITO鍍層玻璃沒有顯著反應。但是IGZO玻璃上的氧化銦鎵鋅鍍層已顯著去除。
取出,以水沖洗乾淨。(同時間測試了銀合金鍍層玻璃,蝕刻劑OS01對銀合金鍍層也沒有反應)
清洗後。
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再以蝕刻劑ITOC01加熱至50℃,測試對氧化銦錫(ITO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)、銀合金(Ag)鍍層玻璃的去除效果。
發現只要浸泡30秒,即可迅速去除氧化銦鎵鋅(IGZO)鍍層。
蝕刻劑ITOC01加熱至50℃,去除氧化銦錫(ITO)鍍層一樣快速有效。
(但是對銀合金(Ag)鍍層則無顯著效果)
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以蝕刻劑OS02進行銀合金(Ag)鍍層玻璃的蝕刻。發現在室溫下,銀合金(Ag)鍍層玻璃一浸泡到蝕刻劑OS02,即迅速反應。並在3分鐘內完全侵蝕乾淨。
以蝕刻劑OS02去除鉬(Mo)鍍層玻璃,一樣有效。