清洗案件描述:客戶希望能在室溫下,搭配適當清洗劑,以超音波清洗製程,將塗佈於晶圓表面的錫膏(Solder PastePF275-92M(S) F=11.5)清除。
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清洗前,將錫膏Solder Paste塗佈於玻璃表面。
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將塗抹錫膏的玻璃,置入微塵清洗劑PTC17plus,在室溫(因超音波能量的累積,清洗過程中,溫度會漸漸上升至約40℃),以40Khz,100W/L超音波清洗30分鐘。取出沖水,潤洗乾淨。
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發現表面錫膏Solder Paste已經去除乾淨。
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比較。下圖左為清洗前,下圖右為清洗後。
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重複測試。取一片晶圓片,將錫膏Solder Paste塗佈於晶圓表面。由於實驗室超音波清洗槽沒有固定晶圓的專用治具,為了避免超音波震盪清洗時,晶圓任意滾動,因此此片晶圓一端予以破片處理,以方便清洗時固定。
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將塗抹錫膏的晶圓片,置入微塵清洗劑PTC17plus中,在室溫下,以40Khz,100W/L超音波清洗30分鐘。取出沖水,潤洗乾淨。
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發現晶圓片表面錫膏Solder Paste已經去除乾淨。
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