清洗前，陶瓷零件表面有黑色氧化物分布，根據客戶描述，應是電漿清洗後造成的carbon oxide，會導致真空腔體內的不正常放電。

置於50% 微塵清洗劑PTC13，70℃，40KHz超音波，100W/L，震盪清洗3分鐘。發現大量的碳氧化物釋出，PTC13對於此陶瓷零件清洗式顯然有效的。但是清洗3分鐘後，除了原本碳氧化物沉積較少的地方露出了陶瓷白色色澤；其餘碳氧化物沉積較厚的地方，依然漆黑，且持續釋出黑色的煙霧狀物質。

延長超音波清洗時間至60分鐘。發現大部分的碳氧化物皆已去除，但是碳氧化物沉積較厚的地方，依然漆黑。

延長超音波清洗時間至120分鐘。終於清洗乾淨，但是取出後，發現陶瓷零件表面有侵蝕的痕跡。微塵清洗劑PTC13是高鹼性的清洗劑(pH> 13)，長時間的清洗，可能對陶瓷零件造成蝕刻現象，雖然能清洗掉黑色碳氧化物，但是判斷不適用於此陶瓷零件清洗。

改換較為中性的微塵清洗劑PTC17^plus。同時為了避免陶瓷零件撞擊超音波不鏽鋼槽體而造刮傷，以塑膠套包覆一端，置於超音波槽底部。經70℃，40KHz超音波，100W/L，震盪清洗60分鐘後，發現陶瓷零件完全沒有受傷。但是較厚的碳氧化物殘留並無法去除。

清洗60分鐘後，液面以下較淡的碳氧化物已去除(紅色箭頭)。

改換鹼度較強的微塵清洗劑PTC05，濃度50%，(pH 13)。一樣清洗一端。經70℃，40KHz超音波，100W/L，震盪清洗10分鐘後，發現較薄的碳氧化物殘留已經去除。但是較厚的碳氧化物殘留並無法去除。陶瓷零件表面雖然看不到受傷，但是表面的光澤變得較淡。

結論與討論：

7.1微塵清洗劑PTC13、PTC17^plus、PTC05皆可去除陶瓷零件表面上的黑色氧化物。清洗效能上，PTC13> PTC05 >PTC17^plus。但是對於較厚較堅牢的黑色氧化物皆無法去除。
7.2微塵清洗劑PTC17^plus不會造成陶瓷零件表面受傷。即使以原液、超音波清洗達60分鐘，也不會造成陶瓷零件表面光澤改變。
7.3微塵清洗劑PTC05不會造成陶瓷零件表面受傷。而造成陶瓷零件表面光澤的改變，需要進一步判定，陶瓷零件表面光澤形成，是否是陶瓷零件新品即有的光澤？或是在電漿真空腔體內，陶瓷零件受到汙染(例如：二氧化矽沉積形成的薄膜)而造成的光澤？若是後者，從測試結果來看，PTC05是最好的清洗劑，而且清洗效率最好。
7.4清洗建議：
建議客戶每周(或每使用1~10次電漿清洗機)，即將陶瓷零件取下，以超音波清洗乾淨。黑色氧化物沉積厚度較薄的情況下，皆可以輕易去除。日常保養，遠比異常放電時才取下清洗，會更有效率。