SMC04應用於氮化鎵石英parts清潔測試
清洗前：石英表面附著氣相沉積後結構緊密的氮化鎵。以高壓水槍清洗無法噴除。以紅色菜瓜布無法刷除。
以SMC04在60degC下浸泡清洗：需隔水加熱。SMC04不要裝在不鏽鋼或玻璃容器中，因為游離的金屬離子會加速SMC04的劣化。因此建議裝在塑膠容器中，隔水加熱。
清洗後：在加熱到60℃的SMC04中，浸泡30分鐘後，氮化鎵從石英表面鬆脫。此時以高壓水刀噴除，或以白色/紅色菜瓜布可以輕鬆刷除。
陶瓷基材清潔劑CSC01與二氧化矽薄膜清洗劑SMC04應用於石英parts 清潔測試
清洗前(0sec)
以二氧化矽薄膜清洗劑SMC04在60~65℃下，浸泡3小時後，表面的透明薄膜已經分解。
以水清洗後，再以陶瓷基材清潔劑CSC01在60~65℃下，浸泡30分鐘後，取出再水下刷洗。
浸泡1分鐘。部分褐色附著物已脫落。
放大來看。
浸泡30分鐘後。褐色附著物已大部分溶解。
放大來看。
在清水下刷洗。
以水清洗後，再以二氧化矽薄膜清洗劑SMC04浸泡，將表面的半透明薄膜完全分解。
石英parts上附有兩類附著物。
建議清洗方式：
SMC04 -> CSC01 -> SMC04
或使用
CSC01 -> SMC04 -> CSC01
應可完全洗淨。
