下圖為客戶提供待清洗的濺鍍設備上的用來均勻電漿的Collimator 准直器零件。此零配件基材為鋁，由於長時間使用，所以表面沉積了0.2mm左右的鈦化物。

桶中裝入適量清洗藥劑,將零件放入藥劑中,零件表面鍍層開始反應後出現微小氣泡,6小時後晃動桶子鍍層已經開始脫落,藥劑變黑。

10小時後取出零件用清水沖洗,再用氣槍吹掉表面殘留的鍍層,如果鍍層厚度大於0.2mm需要噴砂後再浸泡,清洗 吹乾重覆進行直到鍍層完全去除.

結論: 使用SiO2薄膜清洗劑可以對此零件表面的鍍層進行清除,並且由於藥劑本身不含酸，故清洗以後工件不會脆化,不影響使用壽命,如果鍍層太厚,需要與物理去除方法配合使用.